| Test Date |
Data Name |
Temp
[K] |
Memo |
2010/1/27
TP1+TP3測定
▼ 一括 |
3_2um_0.dat |
常温 |
リファレンス。矢部ジグのみ。0.103hPa |
| 3_2um_1.dat |
常温 |
TP1とTP3。ベーキング開始前。 |
| 3_2um_2.dat |
|
ベーキング中。 |
| 3_2um_3.dat |
|
|
| 3_2um_4.dat |
|
|
| 3_2um_5.dat |
345 K |
|
| 3_2um_6.dat |
|
|
| 3_2um_7.dat |
|
|
| 3_2um_8.dat |
333 |
|
| 3_2um_9.dat |
333 |
|
| 3_2um_10.dat |
333 |
|
| 3_2um_11.dat |
334 |
冷却のためのHe管セットアップ |
| 3_2um_12.dat |
|
He流れず、セットアップやりなおし。 |
| 3_2um_13.dat |
|
|
| 3_2um_14.dat |
30 |
冷却開始。いっきに30Kへ。ヒータON。開始直前は309K。
結局、ベーキングは5時間強。 |
| 3_2um_15.dat |
45 |
～60Kでキープ。 |
| 3_2um_16.dat |
58 |
|
| 3_2um_17.dat |
57 |
|
| 3_2um_18.dat |
58 |
|
| 3_2um_19.dat |
58 |
|
| 3_2um_20.dat |
57 |
|
| 3_2um_21.dat |
56 |
へこみが見えてきた。 |
| 3_2um_22.dat |
56 |
|
| 3_2um_23.dat |
55 |
|
| 3_2um_24.dat |
54 |
|
| 3_2um_25.dat |
60 |
|
| 3_2um_26.dat |
- |
|
| 3_2um_27.dat |
58 |
|
| 3_2um_28.dat |
- |
|
| 3_2um_29.dat |
55 |
|
| 3_2um_30.dat |
53 |
0.036hPa。 |
| 3_2um_31.dat |
52 |
|
| 3_2um_32.dat |
58 |
|
| 3_2um_33.dat |
- |
|
| 3_2um_34.dat |
- |
|
| 3_2um_35.dat |
- |
|
| 3_2um_36.dat |
- |
|
| 3_2um_37.dat |
57 |
|
| 3_2um_38.dat |
63 |
|
| 3_2um_39.dat |
68 |
|
| 3_2um_40.dat |
- |
|
| 3_2um_41.dat |
| |
| 3_2um_42.dat |
74 |
|
| 3_2um_43.dat |
- |
ゆっくり昇温開始。 |
| 3_2um_44.dat |
- |
|
| 3_2um_45.dat |
84 |
|
| 3_2um_46.dat |
- |
|
| 3_2um_47.dat |
89 |
|
| 3_2um_48.dat |
- |
ソフトが落ちた。 |
| A3_2um_0.dat |
95 |
0.056hPa。 |
| A3_2um_1.dat |
96 |
|
| A3_2um_2.dat |
97 |
|
| A3_2um_3.dat |
104 |
|
| A3_2um_4.dat |
110 |
|
| A3_2um_5.dat |
114 |
|
| A3_2um_6.dat |
117 |
|
| A3_2um_7.dat |
120 |
|
| A3_2um_8.dat |
- |
|
| A3_2um_9.dat |
123 |
|
| A3_2um_10.dat |
125 |
|
| A3_2um_11.dat |
- |
|
| A3_2um_12.dat |
127 |
|
| A3_2um_13.dat |
129 |
|
| A3_2um_14.dat |
135 |
|
| A3_2um_15.dat |
- |
|
| A3_2um_16.dat |
- |
|
| A3_2um_17.dat |
137 |
|
| A3_2um_18.dat |
138 |
へこみはまだ成長中。 |
| A3_2um_19.dat |
- |
|
| A3_2um_20.dat |
147 |
|
| A3_2um_21.dat |
155 |
|
| A3_2um_22.dat |
165 |
|
| A3_2um_23.dat |
- |
|
| A3_2um_24.dat |
188 |
|
| A3_2um_25.dat |
188 |
みるみるうちにへこみが回復してきた。1回ごとに、30%→40%→50% |
| A3_2um_26.dat |
194 |
へこみなくなった。温度を再び下げてみる。 |
| A3_2um_27.dat |
162 |
|
| A3_2um_28.dat |
156 |
|
| A3_2um_29.dat |
157 |
|
| A3_2um_30.dat |
157 |
0.036hPa。 |
| A3_2um_31.dat |
157 |
|
| A3_2um_32.dat |
158 |
|
| A3_2um_33.dat |
158 |
|
| A3_2um_34.dat |
158 |
|
| A3_2um_35.dat |
158 |
|
| A3_2um_36.dat |
158 |
|
| A3_2um_37.dat |
158 |
何も起こらないので昇温開始。 |
| A3_2um_38.dat |
160 |
|
| A3_2um_39.dat |
178 |
|
| A3_2um_40.dat |
197 |
|
| A3_2um_41.dat |
216 |
0.037hPa。 |
| A3_2um_42.dat |
233 |
|
| A3_2um_43.dat |
248 |
|
| A3_2um_44.dat |
- |
|
| A3_2um_45.dat |
276 |
|
| A3_2um_46.dat |
- |
|
| A3_2um_47.dat |
303 |
|
| A3_2um_48.dat |
315 |
|
| A3_2um_49.dat |
334 |
|
| A3_2um_50.dat |
346 |
|
| A3_2um_51.dat |
351 |
|
| A3_2um_52.dat |
350 |
|
| A3_2um_53.dat |
- |
ヒータOFF。 |
| A3_2um_54.dat |
341 |
終了。 |
2010/1/28
Si(CZ)基板測定
▼ 一括 |
SiCZ_0.dat |
常温 |
Si(CZ)基板測定用バックグラウンド。2010/1/27の最後に測定。
デフォルトジグのみ。0.115hPa |
| SiCZ_1.dat |
常温 |
Si(CZ)のリファレンス。2010/1/27の最後に測定。このあと一晩ベーキング。305～340K＠～10-3Torr。 |
| SiCZ_2.dat |
338 |
2010/1/28朝イチの測定。ベーキング中。 |
| SiCZ_3.dat |
338 |
冷却開始。ゆっくり冷えるようにする。0.0319hPa。
結局、ベーキングは約10時間。 |
| SiCZ_4.dat |
320 |
|
| SiCZ_5.dat |
285 |
|
| SiCZ_6.dat |
- |
|
| SiCZ_7.dat |
241 |
1K/10sくらいのペースで冷却。効率上昇中。インジウムの穴が広がった？ |
| SiCZ_8.dat |
- |
|
| SiCZ_9.dat |
206 |
|
| SiCZ_10.dat |
- |
|
| SiCZ_11.dat |
178 |
|
| SiCZ_12.dat |
168 |
|
| SiCZ_13.dat |
159 |
|
| SiCZ_14.dat |
150 |
|
| SiCZ_15.dat |
141 |
|
| SiCZ_16.dat |
- |
|
| SiCZ_17.dat |
- |
|
| SiCZ_18.dat |
121 |
|
| SiCZ_19.dat |
114 |
|
| SiCZ_20.dat |
108 |
|
| SiCZ_21.dat |
105 |
へこみが見えてきた。 |
| SiCZ_22.dat |
101 |
|
| SiCZ_23.dat |
97 |
|
| SiCZ_24.dat |
- |
|
| SiCZ_25.dat |
87 |
|
| SiCZ_26.dat |
82 |
|
| SiCZ_27.dat |
- |
|
| SiCZ_28.dat |
75 |
|
| SiCZ_29.dat |
68 |
|
| SiCZ_30.dat |
62 |
0.036hPa。 |
| SiCZ_31.dat |
62 |
|
| SiCZ_32.dat |
60 |
|
| SiCZ_33.dat |
- |
～60Kをキープ。 |
| SiCZ_34.dat |
60 |
|
| SiCZ_35.dat |
60 |
|
| SiCZ_36.dat |
60 |
|
| SiCZ_37.dat |
60 |
|
| SiCZ_38.dat |
60 |
|
| SiCZ_39.dat |
- |
|
| SiCZ_40.dat |
59 |
|
| SiCZ_41.dat |
59 |
|
| SiCZ_42.dat |
60 |
|
| SiCZ_43.dat |
60 |
|
| SiCZ_44.dat |
60 |
|
| SiCZ_45.dat |
60 |
|
| SiCZ_46.dat |
60 |
|
| SiCZ_47.dat |
60 |
ゆっくり昇温開始。 |
| SiCZ_48.dat |
- |
|
| SiCZ_49.dat |
67 |
0.056hPa。 |
| SiCZ_50.dat |
70 |
|
| SiCZ_51.dat |
75 |
|
| SiCZ_52.dat |
78 |
|
| SiCZ_53.dat |
83 |
|
| SiCZ_54.dat |
86 |
|
| SiCZ_55.dat |
93 |
|
| SiCZ_56.dat |
101 |
|
| SiCZ_57.dat |
110 |
|
| SiCZ_58.dat |
118 |
|
| SiCZ_59.dat |
128 |
|
| SiCZ_60.dat |
136 |
|
| SiCZ_61.dat |
144 |
|
| SiCZ_62.dat |
154 |
|
| SiCZ_63.dat |
163 |
|
| SiCZ_64.dat |
171 |
|
| SiCZ_65.dat |
182 |
|
| SiCZ_66.dat |
193 |
|
| SiCZ_67.dat |
204 |
変化ないので昇温ペース速める。 |
| SiCZ_68.dat |
219 |
|
| SiCZ_69.dat |
235 |
|
| SiCZ_70.dat |
249 |
|
| SiCZ_71.dat |
261 |
|
| SiCZ_72.dat |
275 |
|
| SiCZ_73.dat |
286 |
急激に再冷却してみる。 |
| SiCZ_74.dat |
145 |
|
| SiCZ_75.dat |
63 |
～60Kでキープ。 |
| SiCZ_76.dat |
53 |
|
| SiCZ_77.dat |
53 |
|
| SiCZ_78.dat |
57 |
|
| SiCZ_79.dat |
60 |
|
| SiCZ_80.dat |
60 |
|
| SiCZ_81.dat |
60 |
|
| SiCZ_82.dat |
60 |
|
| SiCZ_83.dat |
60 |
|
| SiCZ_84.dat |
60 |
|
| SiCZ_85.dat |
60 |
急激に昇温。 |
| SiCZ_86.dat |
126 |
|
| SiCZ_87.dat |
175 |
|
| SiCZ_88.dat |
213 |
|
| SiCZ_89.dat |
243 |
急激に再冷却。下がるところまで。 |
| SiCZ_90.dat |
32 |
|
| SiCZ_91.dat |
13 |
|
| SiCZ_92.dat |
4 |
|
| SiCZ_93.dat |
4 |
|
| SiCZm_94.dat |
4 |
|
| SiCZ_95.dat |
4 |
昇温開始。 |
| SiCZ_96.dat |
100 |
|
| SiCZ_97.dat |
130 |
|
| SiCZ_98.dat |
159 |
|
| SiCZ_99.dat |
180 |
|
| SiCZ_100.dat |
211 |
|
| SiCZ_101.dat |
250 |
|
| SiCZ_102.dat |
273 |
|
| SiCZ_103.dat |
298 |
|
| SiCZ_104.dat |
323 |
|
| SiCZ_105.dat |
302 |
|
| SiCZ_106.dat |
302 |
|
| SiCZ_107.dat |
302 |
終了。 |
2010/1/28
Si(FZ)基板測定
▼ 一括 |
SiFZ_0.dat |
302 |
Si(CZ)基板測定用バックグラウンド。
矢部ジグ＋インジウムのみ。光源温度42℃。 |
| SiFZ_1.dat |
常温 |
バックグラウンド。チェック用。 |
| SiFZ_2.dat |
302 |
|
| SiFZ_3.dat |
302 |
Si(CZ)基板測定用リファレンス。0.127hPa。 |
| SiFZ_4.dat |
320 |
|
| SiFZ_5.dat |
- |
冷却開始。いっきに冷やす。 |
| SiFZ_6.dat |
- |
|
| SiFZ_7.dat |
165 |
|
| SiFZ_8.dat |
100 |
|
| SiFZ_9.dat |
60 |
～60Kでキープ。 |
| SiFZ_10.dat |
58 |
|
| SiFZ_11.dat |
- |
|
| SiFZ_12.dat |
- |
|
| SiFZ_13.dat |
59 |
へんこんできている。 |
| SiFZ_14.dat |
61 |
|
| SiFZ_15.dat |
59 |
|
| SiFZ_16.dat |
58 |
|
| SiFZ_17.dat |
61 |
へこんできている。 |
| SiFZ_18.dat |
62 |
|
| SiFZ_19.dat |
- |
|
| SiFZ_20.dat |
59 |
昇温開始。0.1K/sくらい。 |
| SiFZ_21.dat |
64 |
|
| SiFZ_22.dat |
69 |
|
| SiFZ_23.dat |
77 |
|
| SiFZ_24.dat |
84 |
|
| SiFZ_25.dat |
- |
|
| SiFZ_26.dat |
- |
|
| SiFZ_27.dat |
- |
|
| SiFZ_28.dat |
106 |
|
| SiFZ_29.dat |
- |
|
| SiFZ_30.dat |
117 |
0.074hPa。 |
| SiFZ_31.dat |
- |
|
| SiFZ_32.dat |
126 |
|
| SiFZ_33.dat |
130 |
|
| SiFZ_34.dat |
136 |
|
| SiFZ_35.dat |
144 |
|
| SiFZ_36.dat |
153 |
|
| SiFZ_37.dat |
160 |
|
| SiFZ_38.dat |
166 |
へこみがなくなる直前に一回深くなってから消えた。 |
| SiFZ_39.dat |
185 |
|
| SiFZ_40.dat |
198 |
|
| SiFZ_41.dat |
213 |
|
| SiFZ_42.dat |
229 |
|
| SiFZ_43.dat |
- |
|
| SiFZ_44.dat |
247 |
0.0833 hPa。ノイズが大きい？ |
| SiFZ_45.dat |
- |
ポンプ類を止めてみた。ノイズ改善なし。 |
| SiFZ_46.dat |
274 |
|
| SiFZ_47.dat |
288 |
|
| SiFZ_48.dat |
307 |
|
| SiFZ_49.dat |
320 |
0.0738 hPa。 |
| SiFZ_50.dat |
323 |
|
| SiFZ_51.dat |
319 |
|
| SiFZ_52.dat |
316 |
ヒータを止めてみた。ノイズ改善なし。 |
| SiFZ_53.dat |
310 |
|
| SiFZ_54.dat |
305 |
|
| SiFZ_55.dat |
302 |
|
| SiFZ_56.dat |
300 |
終了。 |